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コーティング検査機 TROI 8800 CI
特徴
  • コーティングの膜厚まで検査可能
  • □ 独自のソフトウェア開発で正確なコーティング領域検査
  • □ 多様なアルゴリズム適用による顧客カスタマイズ検査
  • □ Auto Teaching、Autoデバッグにより作業時間短縮
  • □ In-line検査で生産量拡大
  • □ 人工知能(AI)ベースの自動判定Bubble検査
  • □ 設備内反転器を用いた両面検査機能(Option)
  • □ 光の屈折を利用してコーティング厚さ測定機能(Option)
  • □ Closed-Loop: SPI-AOI-CI
    生産中リアルタイムでSPI-AOI-CI装備間通信
仕様
基本仕様
対応基板サイズ 標準:50×50~330×330(mm) 大型基板対応:50×50~510×510(mm)
対応基板厚さ 0.4~7mm
設備外寸 標準:1050×1295×1550(mm) 大型基板対応:1230×1485×1550(mm)
重量 標準:約900kg        大型基板対応:約1050kg
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