新品設備・機器
TOP > 新品設備・機器 > 3D外観検査機 ATHENA
3D外観検査機 ATHENA
特徴
    業界一の測定精度&検査信頼性
  • □ 安定的で正確なReal 3D測定技術を保有
  • □ Side Cameraを用いた側面検査機能(Option)
  • □ 使いやすい統合ライブラリシステム
  • □ Offlineリアルタイムデバッグ
  • □ 工程情報に対するビッグデータ管理、リアルタイム遠隔モニタリングをサポート
仕様
基本仕様
対応基板サイズ 標準:50×50~330×330(mm) 大型基板対応:50×50~510×510(mm)
対応基板厚さ 0.4~7mm
検査分解能 10μm / 15μm / 18μm
設備外寸 標準:1050×1295×1550(mm) 大型基板対応:1230×1485×1550(mm)
重量 標準:約900kg         大型基板対応:約1050kg
検査速度 カメラの種類、分解能、画角により異なるためお気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ、お見積、ご注文
いつでもお待ちしております!
ページトップへ