新品設備・機器
3D外観検査機 ATHENA
特徴
-
業界一の測定精度&検査信頼性
- □ 安定的で正確なReal 3D測定技術を保有
- □ Side Cameraを用いた側面検査機能(Option)
- □ 使いやすい統合ライブラリシステム
- □ Offlineリアルタイムデバッグ
- □ 工程情報に対するビッグデータ管理、リアルタイム遠隔モニタリングをサポート
仕様
基本仕様 | |
対応基板サイズ | 標準:50×50~330×330(mm) 大型基板対応:50×50~510×510(mm) |
---|---|
対応基板厚さ | 0.4~7mm |
検査分解能 | 10μm / 15μm / 18μm |
設備外寸 | 標準:1050×1295×1550(mm) 大型基板対応:1230×1485×1550(mm) |
重量 | 標準:約900kg 大型基板対応:約1050kg |
検査速度 | カメラの種類、分解能、画角により異なるためお気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ、お見積、ご注文
いつでもお待ちしております!
いつでもお待ちしております!