基板供給収納装置
| メーカー名 | 設備名称・品名 | 型式・型番 | 年式 | 基板搬送基準 | 管理No | 写真 |
| EUNIL |
アンローダー |
ESU-500N |
2017年製 |
左→右 手前 |
EU20017-B01 | ○ |
| ナガオカ製作所 |
売約済み アンローダー |
NUS2310E |
2005年製 |
右→左 手前 |
NG20003-A01 | ○ |
| 小松電子 |
売約済み アンローダー |
EUB12LL |
2005年製 |
右→左 手前 |
KO20040-F01 | ○ |
| 小松電子 |
トラバーサー |
EM51M |
2017年製 |
右→左 手前 |
KO22005-J01 | ○ |
| ナガオカ製作所 |
売約済み ローダー |
NL2310E |
2011年製 |
右→左 手前 |
NG20022-B01 | ○ |
| 小松電子 |
売約済み ローダー |
ELB23LL |
2005年製 |
右→左 手前 |
KO20040-E01 | ○ |
| 小松電子 |
吸着ローダー |
EVL45H |
2014年製 |
KO22005-L01 | ○ |
| 小松電子 |
基板反転機 |
EF100M |
2014年製 |
左→右 奥 |
KO22005-K01 | ○ |
