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基板供給収納装置

メーカー名 設備名称・品名 型式・型番 年式 基板搬送基準 管理No 写真
ワイエス
NGアンローダー
PS-32NM3S
2006年製
右→左 手前
YS16027-A04
EUNIL
アンローダー
ESU-500SL

左→右  奥
EU18019-A21
ワイエス
商談中
アンローダー
PSML-46N
2003年製
左→右 奥
YS18020-A04
Famecs
売約済み
アンロ-ダ-
FKCU-300MXL-CS

右→左 手前
FM18040-B01
ワイエス
商談中
ロ-ダ-
PKML-46N
2003年製
左→右 奥 
YS18020-A03
Famecs
売約済み
ロ-ダ-
FKCL-300MXL-CS

右→左 手前
FM18040-A01